ito靶材是啥？

Posted 2023-03-09

分不清ito靶材和ito薄膜？磁控溅射是生产哪个？

ito靶材属于陶瓷靶材的一种，近些年来人们对于电脑、电视、手机显示屏的追求越发明显，由此也带动了ito靶材的市场需求。但目前ito技术发展还不够先进，发展空间巨大。

ITO材料是一种n型半导体材料，该种材料包括ITO粉末、靶材、导电浆料及ITO透明导电薄膜。其主要应用分为平板显示器(FPD)产业，如液晶显示器(LCD)、薄膜晶体管显示器(TFT-LCD)、电激发光显示器(EL)、场发射显示器(FED)、电致有机发光平面显示器(OELD)等离子显示器(PDP)等。

扩展资料：

国内对ITO靶材的需求量大幅增长，国内生产的ITO靶材密度低，无法满足高端平板显示器行业对于靶材质量的要求．仅仅部分用于低端液晶产品中。目前世界上只有日本、美国、德国等少数发达国家和地区能生产ITO靶材，而我国平板显示器产业所需求的ITO靶材的98％依赖于进口，因此，研制开发ITO靶材生产技术是现有In生产企业开发In深加工技术的首选目标。

国外ITO靶材的生产工艺和技术设备已较为成熟和稳定。其主要制备方法有热等静压法、热压法和烧结法。

参考技术A 简单明了的回答：
ITO靶材就是铟锡氧化物靶材，用于通过磁控溅射工艺，在玻璃基板或有机薄膜上镀上一层透明、导电薄膜，也就是ITO薄膜。ITO薄膜是目前氧化物薄膜里透光性和导电性最好的，所以ITO靶材是显示面板必须的上游材料。
PS：ITO靶材所需的铟在中国产量巨大，可惜高密度高纯度的ITO靶材都有日韩把控，国内目前生产的ITO靶材只能满足中低端需求。我所在的智隆科技是由世界知名的韩国LT集团投资的中方控股企业，拥有生产高密度高纯度ITO靶材的专利技术（知识产权和行业专利74项，ITO靶材项目专利32项）。公司位于广东中山的生产基地于今年投产，将填补国内高纯度溅射靶材市场的国产化空白，欢迎国内有中高端需求的客户联系合作。 参考技术B ITO粉末和ITO靶材是三氧化二铟和二氧化锡的混合物，是ITO薄膜制备的重要原料，ITO薄膜由于对可见光透明和导电性良好的特性，广泛应用于液晶显示玻璃、幕墙玻璃和飞机、汽车上的防雾挡风玻璃等。 ITO靶材主要质量指标 化学成分In2O3 SnO2=9010(wt%) 纯度≥99.99% 相对密度~99% 密度均匀性偏差≤±0.3% 相结构单一立方In2O3相 失氧率＜＝3% 单片最大尺寸250mm x 200mm ，厚度可按用户要求任意。

ITO靶主要用于ITO膜透明导电玻璃的制作，后者是制造平面液晶显示的主要材料，在电子工业、信息产业方面有着广阔而重要的应用。靶材的主要性能指标为高纯度≥99.99％；高密度，相对密度≥92％ 参考技术C ITO靶材就是氧化铟和氧化锡粉末按一定比例混合后经过一系列的生产工艺加工成型，再高温气氛烧结(1600度，通氧气烧结)形成的黑灰色陶瓷半导体。ito薄膜是利用ITO靶材作为原材料，通过磁控溅射把ITO靶气化溅渡到玻璃基板或柔性有机薄膜上。ITO薄膜具有导电性和透光性，厚度一般30纳米--200纳米。本回答被提问者采纳 参考技术D ito靶材和ito薄膜是两种不同的材料，一个是原料，一个是成品
溅射是用ITO靶材，ITO薄膜是用磁控溅射的方式溅射ITO靶材制备的，以上请参考。