什么是 double pattern?

Posted xiaoxie2014

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篇首语:本文由小常识网(cha138.com)小编为大家整理,主要介绍了什么是 double pattern?相关的知识,希望对你有一定的参考价值。

在 20nm 以下的工艺中,由于相邻 metal wire 的间距太小,使得光刻过程中,相邻的光线间距太小,相互之间会发生干涉,导致 metal wire 边缘模糊,甚至出现short。

为了解决这个问题,先进工艺开始采用 double pattern,也称为 double mask,就是将原来的一层  mask 拆分成两层,在每一层 mask 中都不出现最小间距,才能保证制造不出现瑕疵,代价就是费用成倍增加,原来只需一层光罩的费用,现在需要两层。

技术图片

 

 

相应地,在芯片物理设计过程中,需要确保每层metal 都可以拆分成两层 mask,如果出现无法拆分的情况,就会报 odd cycle drc

什么样的情况才会出现 odd cycle drc ?

如下图所示,在这个区域内有5条 metal (奇数条),如果相邻的metal 间距都小于 double pattern 规定的最小spacing,就会出现无法拆分的情况

技术图片

 

假设分为 AD 和 BCE,如下图,由于 BC 间距小于double pattern 规定的最小 spacing,无法制造!

 

技术图片

 

 

可能有人会问,为什么不拆分成 ACE 和 BD? 这样 BC 之间不就没问题了吗?

实际上由于 AE 间距小于 double pattern 规定的最小 spacing,也无法制造!

(这里要强调这个区域内所有相邻的 metal wire spacing 都是小于 DBT 规定的最小spacing)

 

所以这个 mask 无法拆成两个满足要求的 mask,ICC 会检测到这种问题,并且报 odd cycle drc

 

 

 

 

 

 

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以上是关于什么是 double pattern?的主要内容,如果未能解决你的问题,请参考以下文章

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