line-to-space ratio是啥意思
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参考技术A line-to-space ratio线路与间隔的比例
比较CD量测方法
所欲研究的晶圆在ASML AT:1100 以及 AT:1200步进扫瞄系统中曝光，所使用的二阶光罩(binary reticle)包含相似模组的规则阵列。在测试中，通常狭缝方向有13行，扫瞄方向则有7列，每个模组至少包含一个水平及垂直测试结构，其CD为100、90、80奈米(1x)，线路与间隔的比例(line-to-space ratio)由密集(1:1)至隔离不等(在CD散射测量法中则为近乎隔离的1:6)，晶圆上完全布满曝光场，在大多数TTR分析测试中，必须测量4000个以上的定点。本回答被提问者采纳
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