晶圆map图是啥软件做的

Posted 2023-05-10

参考技术A 用JMP软件做的.
用JMP软件绘制晶圆图的方法有好几种，最方便的是用“图形生成器（Graph Builder）”，将数据拖入JMP图形生成器的制图区域即可得到，其中用颜色来表示不同的测试结果。
也可以不用颜色来区分不同的测试结果，而是直接用数字或英文字母来表示。下图就是一张用0代表合格、用1~7分别代表七种不同缺陷的晶圆图。
实际工作中有时候需要制作上面两种Bin Wafer Map之外，有时候还需要制作Parametric Wafer Map。它与前者的主要区别是需要在图形上增加等高线图Contour Plot，这在JMP软件中也很方便。下面的这张Parametric Wafer Map也是用JMP的“图形生成器（Graph Builder）”完成的，从中可以直观地发现连续型测量值的变化规律，帮助工程师判断制程变异趋势。

请问有数据之后，这种图是怎么做出来的？（R语言或者Origin等软件）

这应该就是origin里的box图，最好box图后修改属性，不显示box而直接显示数据，中间的横线估计是统计的平均值。追问

我试了一下，用的是Origin 9.1版，不过没有找到box图属性栏...能不能稍微详细一点...?

参考技术A Office中就有，树状图，或者饼状图等。追问

树状图和饼状图等跟这个差距很大，有没有详细的解答？

追答

这是专业软件的数据显示图，使用左边的文字搜索一下这款软件即可。

追问

嗯啊，图做得很漂亮。不过并没有告诉方法，甚至连图种类（箱图？散点图？）都没有说，无从查起...