[激光原理与应用-41]：《光电检测技术-8》- 白光干涉仪

Posted 2022-12-16 文火冰糖的硅基工坊

目录

第1章 白光干涉仪概述

第2章 常见干涉仪

2.1 激光量块干涉仪

2.2 白光干涉测量表面形貌的系统

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第1章 白光干涉仪概述

用于光在两个不同表面反射后形成的干涉条纹进行分析的设备。

干涉仪是一种对光在两个不同表面反射后形成的干涉条纹进行分析的仪器。

其基本原理就是通过不同光学元件形成参考光路和检测光路。

干涉仪是利用干涉原理测量光程之差从而测定有关物理量的光学仪器。

两束相干光间光程差的任何变化会非常灵敏地导致干涉条纹的移动，而某一束相干光的光程变化是由它所通过的几何路程或介质折射率的变化引起，所以通过干涉条纹的移动变化可测量几何长度或折射率的微小改变量，从而测得与此有关的其他物理量。

测量精度决定于测量光程差的精度，干涉条纹每移动一个条纹间距，光程差就改变一个波长(～10-7米)，所以干涉仪是以光波波长为单位测量光程差的，其测量精度之高是任何其他测量方法所无法比拟的。

第2章 常见干涉仪

2.1 激光量块干涉仪

用白光的干涉和激光的干涉条纹变化来测量下图中量块的宽度！

 （1）白光关涉：指示定位的作用，用来指示准直系统移动过程。

（2）激光干涉：用来计算两块的高度。

2.2 白光干涉测量表面形貌的系统