公共仪器设备介绍|4.电子探针显微分析仪 Electron Probe Microanalyzer (EPMA)
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公共实验室
Public Laboratory
4
电子探针显微分析仪
Electron Probe Microanalyzer (EPMA)
研究内容:
电子探针显微分析仪利用高能聚焦电子束照射试样的表面,在微米级的区域内激发出大量携带着各种信息的量子信号,如特征X射线,二次电子,背散射电子。结合电子束扫描和/或样品台扫描,电子探针还可以对样品的表面进行数十微米至10厘米的区域的扫描分析,可以提供此区域内的元素成分定性、定量分析及其分布的信息。
电子探针显微分析仪在材料研究领域中的断口分析、镀层分析、微区成分分析及显微组织形貌等方面发挥了主要用途。
设备参数:
型号:EPMA-1720H (SHIMADZU)
二次电子像分辨率:5nm
分析元素:4Be – 92U
X射线取出角: 52.5°
大面积分析:90mm×90mm
微区分析:≥1μm
应用实例:
特种钢中的细微夹杂物 张力破碎面
设备房间:冶金楼1106 设备负责人:左晓剑
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