公共仪器设备介绍|4.电子探针显微分析仪 Electron Probe Microanalyzer (EPMA)

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公共实验室

 Public Laboratory 

4

电子探针显微分析仪

Electron Probe Microanalyzer (EPMA)

公共仪器设备介绍|4.电子探针显微分析仪 Electron Probe Microanalyzer (EPMA)
公共仪器设备介绍|4.电子探针显微分析仪 Electron Probe Microanalyzer (EPMA)

研究内容:

        电子探针显微分析仪利用高能聚焦电子束照射试样的表面,在微米级的区域内激发出大量携带着各种信息的量子信号,如特征X射线,二次电子,背散射电子。结合电子束扫描和/或样品台扫描,电子探针还可以对样品的表面进行数十微米至10厘米的区域的扫描分析,可以提供此区域内的元素成分定性、定量分析及其分布的信息。

     电子探针显微分析仪在材料研究领域中的断口分析、镀层分析、微区成分分析及显微组织形貌等方面发挥了主要用途。

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设备参数:

型号:EPMA-1720H (SHIMADZU)

二次电子像分辨率:5nm 

分析元素:4Be – 92U

X射线取出角: 52.5° 

大面积分析:90mm×90mm

微区分析:≥1μm

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应用实例:

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特种钢中的细微夹杂物             张力破碎面

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设备房间:冶金楼1106    设备负责人:左晓剑


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